CVD钻石培育配套氢气发生器

CVD钻石培育配套氢气发生器

凭借着在气体分析、生成和校准领域拥有三十年的经验，使我们能够成立Leman Instruments SAS，这是一家专门从事固体、液体和气体分析所涉及的科学设备模块研发，生产和销售的公司。公司主要生产地位于法国阿尔尚地区。主要产品包括实验室氮气发生器，氢气发生器，氧气发生器，零级空气发生器等。

百瑞科技（南京）有限公司是一家专注于为医疗实验室等领域提供各类气体发生器（包括氮气发生器，氢气发生器，零级空气发生器等），真空泵以及压缩空气成套设备解决方案的企业。公司先后与ekom医疗实验室压缩机生产商，意大利Werther，奥地利Metasys牙科设备制造商，以及丹麦flairmo，德国INMATEC，俄罗斯GRASYS，法国Leman Instruments等国外实验室气体发生器厂商机气体分离系统厂商达成战略合作协议。公司代理销售的气体发生器，氮气发生器，氢气发生器，零级空气发生气，牙科正负压系统，空压机成套设备以及后处理设备均满足各种环境下的严苛需求，产品广泛应用于石化，制药，电子行业、以及各类实验室等。产品包括ekom dk50系列无油空压机，metasys hybrid系列牙科负压抽吸泵，flairmo实验室氮气发生器等等，广泛用于医院，实验室，食品行业等。

在CVD的工艺中，需要一种稳定可靠的方法来供应超高纯度的氢气。

使用氢气发生器代替钢瓶或其他方式运输的氢气可避免在钻石合成过程中氢气突然耗尽的问题，并且氢气发生器还具有更多的安全优势，同时可以帮客户节省长期的用气成本。

氢气钢瓶中的氢气的含水量高于CVD工艺所要求的数值。因此，氢气钢瓶中的氢气需要进一步干燥才可使用，常用的方法是使用钯净化器。

我们可以把钯净化器看作是一种非渗透膜，上面只能吸附和解吸氢离子。那么只要非渗透膜完好无损，系统中没有任何泄漏，氢气的纯度就可以得到保证。因此需要定期测试钯膜完整性，常用的方法是使用高真空，并检查真空状态是否可保持，或用氦气对系统加压以检查泄漏。

但当使用钯膜净化氢气时，需要关注到的一个问题是“氢脆"。在某些条件下，留在金属中的氢离子会导致钯脆裂。这是进行真空泄漏测试或氦气加压测试的主要原因之一。同时，保持真空可去除钯中吸收的氢离子，以避免氢脆。

若不使用钯膜净化，其他的干燥技术同样也可以产生超高纯度的氢气，例如，Leman Instruments 氢气发生器采用PSA净化技术生产的超高纯氢气，具有ppb水平含量的微量氧气和水分，而不存在“氢脆"对钯净化器造成损害这样的风险，避免了因为钯膜损坏而导致的高昂的维护费用。

当然，PSA净化技术也不需要进行真空泄漏测试，因为PSA技术相对于钯净化器来说是一种“渗透膜"，因此真空测试并不适用，若进行真空测试，则可能会失败，用户可能需要更改其验证方法。然而，明显的优势是，PSA通常具有更高的可靠性，若发生故障，PSA净化技术的维修成本也更低。

结论

PSA净化技术可应用到发生器中为CVD工艺提供超高纯度氢气，从而避免使用钯膜净化技术的缺点。

CVD钻石培育配套氢气发生器